第一款半導(dǎo)體行業(yè)專用 TEM
Metrios 系統(tǒng)是第一款半導(dǎo)體行業(yè)專用 TEM,它能根據(jù)半導(dǎo)體制造商的需要快速、精確地開展測量,幫助他們開發(fā)和控制晶圓片制造工藝?;?TEM 操作和測量步驟實(shí)現(xiàn)了高度自動化,最大限度降低了為操作員提供專門培訓(xùn)的需要。而且,先進(jìn)的自動化測量過程相比手動方法具有更大的精度。Metrios TEM 旨在為客戶提供比其他 TEM 更高的通量和更低的單位樣本成本。